天沐為大家科普一下,高溫壓力傳感器是將壓力轉換為電信號輸出的傳感器。通常由兩部分組成,即分別是敏感元件和轉換元件。其中敏感元件是指傳感器中能夠直接感受或響應被測量的部分;轉換元件是指傳感器中將敏感元件感受或響應的被測量的應變轉換成適于傳輸或測量的電信號部分。
由于傳感器的輸出信號一般很微弱,需要將其調制與放大。隨著集成技術的發展,人們又將這部分電路及電源等電路也一起裝在傳感器內部。這樣,傳感器就可以輸出便于處理,傳輸的可用信號了。
在選擇高溫壓力傳感器的時候我們要考慮他的綜合精度,而造成傳感器誤差的因素有很多,下面我們主要說四個無法避免的誤差,這也叫傳感器的初始誤差。
1、偏移量誤差
由于高溫壓力傳感器在整個壓力范圍內垂直偏移保持恒定,因此變換器擴散和激光調節修正的變化將產生偏移量誤差。
2、靈敏度誤差
產生誤差大小與壓力成正比。如果設備的靈敏度高于典型值,靈敏度誤差將是壓力的遞增函數。如果靈敏度低于典型值,那么靈敏度誤差將是壓力的遞減函數。該誤差的產生原因在于擴散過程的變化。
3、線性誤差
這是一個對高溫壓力傳感器初始誤差影響較小的因素,該誤差的產生原因在于硅片的物理非線性,但對于帶放大器的傳感器,還應包括放大器的非線性。線性誤差曲線可以是凹形曲線,也可以是凸形曲線。
4、滯后誤差
在大多數情形中,高溫壓力傳感器的滯后誤差完全可以忽略不計,因為硅片具有很高的機械剛度。一般只需在壓力變化很大的情形中考慮滯后誤差。
高溫壓力傳感器的這個四個誤差是無法避免的,我們只能選擇高精度的生產設備,利用高新技術來降低這些誤差,還可以在出廠的時候進行一定的誤差校準,盡最大的可能來降低誤差。